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华中科技大学公布了感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统采购项目中标结果,本次中标公司为武汉大风生物科技有限公司,成交金额为381.9283200 万元。 一、项目编号:招案2023-3853(校内编号HW20230397)(招标文件编号
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等离子体的非平衡过程提高反应活性。2、化学气相沉积法的特点:能得到纯度高、致密性好、残余应力小、结晶良好的薄膜镀层。由于反应气体、反应产物和基体的相互扩散,可以得到附着力好的膜层,这对表面钝化、抗蚀及耐磨等表面增强膜是很重要的。二、两者的实质
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等离子体的非平衡过程提高反应活性。2、化学气相沉积法的特点:能得到纯度高、致密性好、残余应力小、结晶良好的薄膜镀层。由于反应气体、反应产物和基体的相互扩散,可以得到附着力好的膜层,这对表面钝化、抗蚀及耐磨等表面增强膜是很重要的。二、两者的实质
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化学气相沉积过程中有化学反应,多种材料相互反应,生成新的的材料。物理气相沉积中没有化学反应,材料只是形态有改变。物理气相沉积技术工艺过程简单,对环境改善,无污染,耗材少,成膜均匀致密,与基体的结合力强。缺点膜一基结合力弱,镀膜不耐磨, 并有方 向性化学杂质难以去除。优点可造金属膜、非金属膜,又可按要求制造多成分的合金膜,成膜速度快,膜的绕射性好
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PECVD--等离子体化学气相沉积法 为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD). 实验机理: 辉光放电等离子体中:电子密度高(109~1012
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化学气相沉积是一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物
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化学气相沉积技术 化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)是指在不改变基体材料的成分和不削弱基体材料的强度的条件下, 赋予材料表面一些特殊的性能的一种材料表面改性技术。目前, 由化学气相沉积技术制备
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麻省理工学院化学工程教授Karen Gleason说,从某种意义上说,你可以将化学气相沉积技术或CVD一直追溯到史前: 她说:"当穴居人点燃一盏灯,烟尘沉积在山洞的墙壁上时,"那是一种初级形式的CVD。 在被称为启动化学气相沉积
2023-05-04
来源: cnBeta.COM
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化学气相沉积过程中有化学反应,多种材料相互反应,生成新的的材料。物理气相沉积中没有化学反应,材料只是形态有改变。物理气相沉积技术工艺过程简单,对环境改善,无污染,耗材少,成膜均匀致密,与基体的结合力强。缺点膜一基结合力弱,镀膜不耐磨, 并有方 向性化学杂质难以去除。优点可造金属膜、非金属膜,又可按要求制造多成分的合金膜,成膜速度快,膜的绕射性好
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其含义c是气3相中3化1学反5应的固体产物沉积到表面。CVD装置由下k列部件组成;反7应物供应系统,气3相反7应器,气4流传送系统。反6应物多为0金属氯化8物,先被加热到一g定温度,达到足够高的蒸汽压,用载气5(一s般为6Ar或H3)送入